《表5 10层板内层蚀刻后测量数据(单位:mm)》

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《高层数板内层孔线间距制程能力测试》


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(4)10层板内层蚀刻后层间极差测量数据如表5。内层完成线路蚀刻后,首检测量层间最大极差为:X方向0.021 mm,Y方向上0.009 mm,符合要求。