《表3 第一次蚀刻后线宽测量分组办法》

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《精细埋阻制作精度分析及改善》

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针对宽度均匀性差的状况，需在第二次蚀刻时进行调整，尽量减小宽度对精度的影响。一般采取第二次蚀刻时首板确认电阻值以调试蚀刻速度的办法。我们提出在每个set旁增加一组电阻测试条（与单元内设计一致）的办法用于监控单元内电阻，在第一次图形制作后测量每片板线宽，并按线宽将板进行分组，第二次蚀刻时每组分别制作首板，调整蚀刻线速（如图3、表2、表3）。