《表1 长度宽度制作能力（单位：μm)》

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《精细埋阻制作精度分析及改善》

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我们根据多批次生产板的制作经验，进行精确的测量，得到稳定的宽度补偿量。1.2节中假定长度、宽度蚀刻公差均在±20μm，而实际的公差则需实际测量确认。现以生产板取1set为例，测量宽度长度，从结果看，宽度制作能力较差，长度制作能力基本可满足要求，即宽度是电阻制作的关键制约因素，这与预期结果一致（见表1）。