《表3 测试结果：减成法制作30μm/30μm精细线路》

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《减成法制作30μm/30μm精细线路》

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采用D公司真空二流体设备，配合铜箔及干膜，制作30μm/30μm的线路，测试结果统计见表3，金相切片结果如图7所示。由于设备上侧有真空吸附且有二流体，所以上侧的Pp值更高，可以达到1.3，蚀刻因子的表现也更好。