《表5 批量板分组蚀刻制作情况》

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《精细埋阻制作精度分析及改善》

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(3）电阻测试结果：电阻测试合格率约95.3%，均值99.73Ω，过程中电阻均值公差按照±3%控制，最终成品测试结果按照客户要求公差±15%计算，无论从单片板或者不同蚀刻档次的电阻结果看均值都控制在100Ω±3Ω以内，分析成品电阻测量数据结果（见表5、图4）。