《表2 两个S型弹簧线宽的测量数据记录表》

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《影响MEMS弹簧弹性系数的因素分析》

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μm

此次加工弹簧的理论数值为b=27μm，R=60μm，L=500μm，h=60μm。通过式（1）可以看出对弹簧弹性系数影响最大的是弹簧线宽。用如图4所示的数字式高倍显微镜对弹簧进行如图5所示的测量。分别对此次加工的10个弹簧测量，得到弹簧线宽的测量数据，如表2所示。