《表1 刻线锯齿、线长和线宽的值》
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由图4可知，En在非扫描方向的延展，缩小了刻线边缘锯齿，但改变了线长、线宽，对此通过缩小曝光总能量来调节该变化.模拟过程中，当曝光总能量低于0.9En时，倾斜刻线由于拖拽叠加的能量小于曝光阈值，刻线边缘不流畅.因此，以微镜中心点连线为准，模拟分析当Δx101取0（En）、0.5L（En）、L（En）和L（0.9En）时，刻线的锯齿、线长和线宽的值，结果见表1.
| 图表编号 | XD0032849100 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.04.01 |
| 作者 | 孙彦杰、刘华、李金环、陆子凤、张莹、罗钧 |
| 绘制单位 | 东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
