《表3 自由曲面光学透镜参数》
提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式
传统DMD扫描光刻系统的激光光源为405nm，DMD（1 080×1 920）的单微镜边长为10.8μm，整体尺寸为11.664mm×20.736mm，投影物镜的放大倍率为1.为保证成像质量以及实际加工的可行性，自由曲面光学透镜的参数见表3.
| 图表编号 | XD0032849000 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.04.01 |
| 作者 | 孙彦杰、刘华、李金环、陆子凤、张莹、罗钧 |
| 绘制单位 | 东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
