《表4 自由曲面投影物镜光学特性参数》

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《高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计》

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自由曲面EUVL投影物镜结构如图4所示，物镜结构紧凑且消除遮拦，光学特性参数如表4所示。图5为该物镜角线上4个视场点（图3中红色视场点）的光学调制传递函数（MTF））曲线，如图所示已接近衍射极限，其它视场MTF曲线均接近衍射极限。如图6（a）所示，物镜波像差RMS值小于0.4 nm；图6（b）为物镜畸变图，全视场畸变控制在0.7 nm范围内。同时，也评价了自由曲面的可制造性，自由曲面局部曲率越平滑越易于加工，如图7（a）～（d）为自由曲面反射镜M2，M3，M5，M6在X方向和Y方向的局部曲率差。图中显示M5镜的局部曲率差最大，为-0.0004，局部曲率比较平滑，满足可制造性要求，自由曲面加工一般使用五轴超精密机床[19]，各自由曲面中最大局部曲率为0.0047，梯度变化较小，易于检测[20]。