《表2 新物镜光学特性列表》

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《TDX-200透射电子显微镜物镜优化设计研究》


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根据设计好的物镜结构,利用Munro程序,对其进行光学特性仿真。仿真输入数据如表1所示,仿真结果如表2所示。将球差系数的值代入式(3)得到新物镜的理论点分辨率为0.247 nm,可以判断新物镜的设计是满足系统0.25 nm点分辨率优化要求的。图10显示了电子在透镜中的运动轨迹。