《表1 EUVL物镜光学性能要求》
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EUVL物镜要求在1～2 mm的弧形视场下实现极小的波像差和畸变。物镜倍率通常为1/4或1/5缩小倍率。物镜光学性能要求如表1所示。
| 图表编号 | XD0065908000 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.08.25 |
| 作者 | 毛姗姗、李艳秋、刘克、刘丽辉、郑猛、闫旭 |
| 绘制单位 | 北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室、北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室、北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室、北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室、北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室、北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室 |
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