《表2 浸没式光刻投影物镜光学材料指标》

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《超大数值孔径浸没式物镜的研发设计》

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综合考虑以上的各项光学材料性能，深紫外波段投影物镜的光学材料仅可以选择熔石英和氟化钙，Silica除了在193 nm波段具有良好的光学性能外，价格也相对便宜，因此对于193 nm的光刻物镜，熔石英为首选光学材料。再加上该文描述的浸没投影物镜的浸没液为水，考虑Silica光学材料良好的水溶性，最后一片光学镜片也采用Silica光学材料。