《表2 性能等级评价表：扫描投影光刻机激光安全互锁设计及安全风险评估》

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《扫描投影光刻机激光安全互锁设计及安全风险评估》

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控制系统的安全性与可靠性已经成为系统设计的重要指标，控制系统有关安全部件的组成，以有关安全的输入信号被触发为起始点，以控制元件的动力输出为终止点。控制系统安全风险评估，需先确定系统所需的性能等级，并根据等效电路，评估出类别、诊断覆盖率（DC）、平均危险失效时间（MTTFd）、共因失效（CCF）等因素。根据表2对性能等级进行评估，通过对防止CCF的措施进行打分来判断是否满足要求。