《表1 激光器等级划分：扫描投影光刻机激光安全互锁设计及安全风险评估》

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《扫描投影光刻机激光安全互锁设计及安全风险评估》

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电磁辐射是电磁场能量以电磁波的形式向外发射的过程，它能影响和破坏人体原有的电流和磁场，使人体原有的电磁场发生变化[2]。目前，所有的激光安全标准都是根据激光的潜在危害性来划分的。根据激光产品对使用者的安全程度，国内外均把激光器产品的安全等级划分为如表1所示的四个等级：