《表3 非球面投影物镜形态参数值》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

式中：z（x，y）表示光学表面矢高；c为顶点曲率；k为圆锥系数；r为垂直于光轴方向的半径高度；r2=x2+y2；cj为单项式xmyn系数。为了提高优化效率，笔者仅选取了XY-多项式自由曲面中X偶次项系数为变量，因此，自由曲面关于YOZ面对称，第一象限内视场可以代表整个系统视场。物镜采样视场如图3所示。同时，自由曲面的位置严重影响像差校正效果，即使使用相同数量的自由曲面，自由曲面的位置不同其作用也不同。通过CODE V编写的物镜形态参数计算程序，评价NA0.35的非球面投影物镜每个表面光焦度贡献和对称度贡献。计算结果见表3，可以看出M6镜光焦度贡献最大，w6=0.770 0，其次为M5镜。对称度特性中，M5镜对系统对称度影响大s5=0.829 9。首先考虑元件光焦度对系统影响，因为光焦度对系统结构影响很大，决定光线是否能够继续追迹。光焦度参数wj大的表面通常具有较大的曲率，光线在反射镜表面大角度偏折而产生较大的高级像差，在此处增加自由曲面可以减小物镜表面像差，缓解过紧的光焦度和减小遮拦。因此，首先将M6镜替换为自由曲面进行渐进优化，当像差减小到极限程度再运行形态参数计算程序，判断下一个转换为自由曲面的反射镜。通过交替进行面形替换和渐进优化，依次将M6、M5、M2、M3镜替换为自由曲面，最终获得高NA无遮拦自由曲面EUVL投影物镜。