《表2 非球面投影物镜光学特性参数》

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《高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计》

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通过实验室前期建立的分组设计法获得球面EUVL物镜初始结构。该投影物镜关于光轴旋转对称，对于弧形视场可以仅取Y轴视场代表整个系统视场，在Y轴选择7个视场（F1～F7像方视场29～30.5 mm）。通过CODE V编写高效的非球面度优化控制函数，结合渐进优化获得一套像质较好的非球面EUVL物镜结构，作为增大NA的设计起点。其物镜结构和光学特性参数分别如图1和表2所示。