《表1 主要技术指标要求：大口径光学非球面超精密磨削装备与技术》

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《大口径光学非球面超精密磨削装备与技术》

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目前，英国Loxham Precision公司、美国LLNL实验室、德国IPT公司等国外研究机构已在超精密磨削领域取得了很大的发展，其研发的超精密磨床已应用于大口径光学元件以及硬脆材料光学元件的加工[14]。而国内大口径光学元件的超精密加工仍需进一步发展，针对需求，本课题组研制了应用于大口径光学非球面的立柱移动式卧轴矩台平面磨床UPG80，机床型式如图2所示。机床整体由基础构架（包含底座、工作台、立柱、磨头），X、Y、Z轴驱动系统，电主轴部件，主轴冷却系统，冷却液冷却系统，润滑系统，在位检测系统，砂轮主轴动平衡调整系统，砂轮自动修形系统组成。基础架构的材料为铸铁，X、Y、Z轴均采用液体静压轴承支撑，并采用丝杠加伺服电机的传动方式进行驱动及光栅尺加伺服电机的闭环系统进行定位。其中工作台与底座为T型分布，立柱置于底座上，磨头置于立柱上。机床数控系统为西门子840D–DSL，并基于Windows操作平台，可实现磨床系统的四轴数控。机床的主要技术指标见表1。