《表1 磨床的性能指标：单晶硅反射镜的超精密磨削工艺》

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《单晶硅反射镜的超精密磨削工艺》

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磨削试验是在基于工件旋转法磨削原理的超精密磨床上（VG401MK II，Okamoto，日本）进行的，该磨床装置如图4（a）所示，磨床的性能指标如表1所示。磨床的砂轮主轴和工件主轴采用了刚度大的气浮主轴类型，砂轮进给也能够实现0.1μm的微进给量，另外，轴向/径向跳动都在50nm，这些指标为超细粒度金刚石砂轮磨削试验提供了基本条件。磨床的砂轮主轴可通过螺母C1和C2实现左右摆动的调整、螺母C3实现前后摆动的调整，因此可通过砂轮主轴角度的调整控制工件面形。硅片和硅镜通过真空吸附的方法固持在多孔陶瓷吸盘表面。砂轮为自主研发的含有氧化铈（CeO2）添加剂的超细粒度金刚石砂轮，如图4（b）所示。试验样件分别为商用Φ200mm×675μm的（100）P型单面抛光硅片（有研新材，中国）和尺寸为Φ100mm×5mm的双面研磨硅镜，硅片和硅镜样品如图4（c）所示。硅片和硅镜磨削试验采用的加工参数如表2所示。砂轮组份采用X射线能谱分析仪（Energy Density Spectroscope，EDS）X-MAX（Oxford，英国）分析，砂轮地貌、磨削样件表面形貌采用扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）SUPARR55（Zeiss，德国）观察，表面粗糙度采用原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）XE 200（Park systems，韩国）测量，硅镜面形采用激光干涉仪Tropel FM200（Corning，美国）测量。