《表4 分析结果：基于浸没式光刻光束稳定系统的反射镜》

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《基于浸没式光刻光束稳定系统的反射镜》

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根据测试结果，193nm高反膜在45°入射角时反射率为98.50%，40°入射时反射率为97.33%，50°入射时反射率为97.42%.采用Contour GT光学轮廓仪测量样片的表面微观结构，如图15，测出的结果见表4.