《表1 光束稳定系统的技术要求》

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《基于浸没式光刻光束稳定系统的反射镜》


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针对输入光源脉冲频率4 000Hz,水平和垂直方向位置稳定性小于±0.1mm,水平和垂直方向指向稳定性小于±0.2mrad的特性,对光束稳定系统提出的技术要求见表1.