《表1 投影系统主要参数：基于DMD的数字光刻定焦变倍投影系统设计》

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《基于DMD的数字光刻定焦变倍投影系统设计》

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根据实际芯片设计0.9英寸大小DLP（DMD:19.35mm×12.16mm，像元大小7.56mm×7.56mm）投影镜头，该镜头预计在像距500mm处投影图像大小为9英寸，在空间频率70lp/mm处，轴上视场的MTF值大于0.6，其余视场的MTF值大于0.4，相对照度大于90%，工作波长为395～415nm，主波长为405nm。并考虑到DMD的特点，设计成远心系统[9]。系统的主要参数如表1所示。