《表4 蒙特卡罗分析结果：宽光谱共焦复消色差物镜光学系统设计》

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《宽光谱共焦复消色差物镜光学系统设计》

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从表3可以看出，对MTF影响最大的是第二到第四光学面的厚度负偏差、第五和第七光学面的厚度正公差以及第四片玻璃（表面6）阿贝数的公差。由表3可知，第二至第四光学面厚度公差取为负公差时比取为正公差时敏感，第五至第七光学面厚度公差取为正公差时比取为负公差时敏感。因此在设置公差时，第二至第四光学面的厚度公差取为正极值偏差0～+0.03 mm，第五至第七的厚度公差设置为负极值偏差-0.03～0 mm，第四片玻璃（表面6）的阿贝数的公差设置为0.5%。再次对物镜系统进行公差分析，蒙特卡罗模拟分析的MTF结果如表4所示，分析结果MTF值为0.242 2时良品率大于90%，说明物镜系统匹配上述公差要求，满足批量生产加工及装配要求。