《表3 递归滑模参数设置》

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《气动二维超精密伺服系统输出反馈滑模控制》


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整个跟踪过程进行了125个周期,每个双纽线周期采样1 600次。两轴之间误差存在差异,主要区别在于两轴驱动的负载不同,以及X轴与Y轴跟踪轨迹的频率不同。