《表1 数学模型参数设置》

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《气动二维超精密伺服系统输出反馈滑模控制》


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通过仿真对控制器有效性进行验证,图4~11以Y轴为研究对象,进行数值仿真,图12、13为二维数值仿真结果,平台数学模型用到的主要参数如表1所示。