《表5 参数及结果统计：大型自由曲面光学器件的超精密抛光方法》

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《大型自由曲面光学器件的超精密抛光方法》

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试验装置采用KUKA机器人（吊装方式安装），额定负载30kg，末端装置自制打磨盘（配1200#砂纸）进行抛光试验，抛光压力均为5N；抛光盘半径为48.0mm，如图12所示。（1）采用谢尔宾斯基路径：在圆域生成路径（阶数为9，大致为7200个点），打磨一次旋转60°，共抛光6次；（2）采用所提出的TSP路径：同样进行6次抛光加工，每次生成随机点7200个，如图13所示。试验后，参数及结果统计如表5所示。