《表1 3种方法光学超精密检测后机械零件的损伤结果》

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《基于人工智能技术的光学超精密检测技术》

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实验为验证本文检测方法的突出效用，对本文方法进行仿真测试，实验以某数控加工平台生产的某批次机械零件为研究对象，该批次机械零件中零件包括各种不同类型机械零件共12个，且各零件间均存在一定差异，采用本文方法对该批次机械零件进行光学超精密检测，包括机械零件的尺寸大小和表面加工质量，实验为突出本文方法的检测效果，将基于机床动态特性和小光斑覆盖的光学超精密检测技术作为实验对比，实验将3种方法在检测过程中是否对机械零件造成损伤作为评判检测质量的指标，采用3种方法进行光学超精密检测后，机械零件损伤检测结果如表1所示，其中检测损伤分为4个等级，分别为高、中、低和无。