《表1 离子源工艺参数：融石英光学材料离子束抛光去除特性研究》

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《融石英光学材料离子束抛光去除特性研究》

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选取4组具有不同参数值的离子源工艺参数，以获得具有相同离子能量但空间分布不同的离子束流，见表1。按照表1设定一组离子源工艺参数，待离子源稳定后，控制离子束垂直入射法拉第杯，采用等间距采集数据的方法进行法拉第扫描试验。在扫描方向设定离子源运动范围为-15～15 mm，在此区间内取31个等距采样点，然后对采样数据进行高斯拟合，可以得到离子束流在此方向上的电流密度分布。