《表2 离子源工艺参数与去除效率关系表》
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通过调整离子源工艺参数，可获得不同的去除函数，主要工艺参数包括工作气体的流量、电离电压、栅格口径、作用距离及中和电流等，各项参数与去除效率关系如表2所示。
| 图表编号 | XD00193400100 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.10.01 |
| 作者 | 李文卿、张继友、王永刚、马仙梅、孟晓辉、李昂 |
| 绘制单位 | 北京空间机电研究所、国防科技工业光学超精密加工技术创新中心、北京空间机电研究所、国防科技工业光学超精密加工技术创新中心、北京空间机电研究所、国防科技工业光学超精密加工技术创新中心、北京空间机电研究所、北京空间机电研究所、国防科技工业光学超精密加工技术创新中心、北京空间机电研究所、国防科技工业光学超精密加工技术创新中心 |
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