《表1 方差分析表：基于全因子实验设计的离子抛光工艺研究》

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《基于全因子实验设计的离子抛光工艺研究》

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注:其中“√”表示分析结果与方差来源项有影响，“/”表示分析结果与方差来源项无影响。

方差分析得到的F值表示整个拟合方程的显著性，F越大，表示方程越显著，拟合程度也就越好。P值是衡量控制组与实验组差异大小的指标，本实验选定的置信度为95%，即当P<0.05时，表示两组存在显著差异。根据离子抛光获得的参数进行数据分析，方差分析主要输出如表1所示，可看出抛光宽度、抛光深度和抛光面积均受抛光时间和加速电压主效应和交互效应的影响。