《表3 弹簧弹性系数实际值与理论数值相对误差》

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《影响MEMS弹簧弹性系数的因素分析》

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N/m

由表2可得:弹簧线宽最大值为65μm，最小值22μm，即误差为-5～38μm；线宽尺寸平均最大值为39.8μm，最小值为33.1μm，即线宽平均值误差为6.1～12.8μm。通过表2和式（1）计算出弹性系数，并计算出弹簧弹性系数实际值与理论数值（4.9 N/m）的相对误差，如表3所示。