《表5 改进后弹簧弹性系数实际值与理论数值相对误差》

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《影响MEMS弹簧弹性系数的因素分析》

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由表4可见，线宽均值的最小值为28.5μm，最大值为38.2μm，即误差为1.5～11.2μm；厚度均值的最小值为24.5μm，最大值为35.6μm，即误差为4.5～15.6μm；线长均值的最小值为505.5μm，最大值为540.8μm，即误差为5.5～40.8μm。通过表3和式（1）计算出弹性系数，并计算出弹簧弹性系数实际值与理论数值的相对误差，如表5所示。