《表1 电容测试数据与关键线宽表》

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《PCM在MEMS陀螺工艺中的应用》

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以关键参数电容为例，实际电容数据与关键线宽见表1所示，PCM电容参数的大小很好的反映了线宽参数的大小，表明该PCM设计图形可作为工艺加工过程中的监控图形。高精度数字电源表还可监测电容的隔离度，反映了工艺过程中梳齿之间的质量，此参数与陀螺性能指标密切相关。