《表1 不同激光辐照能量下薄膜样片的损伤几率Tab.1 Rate of damage under different laser irradiation energies》

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《基于损伤图像特征的激光薄膜损伤判别研究》

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利用100倍数码显微镜对辐照过的薄膜样片进行观测，如图5所示。图5中HfO2薄膜激光辐照能量依次为5 mJ，15 mJ，25 mJ和35 mJ。LaTiO3薄膜激光辐照能量依次为9mJ，27mJ，37mJ和45mJ。从图5可以看出，随着能量的增加损伤斑面积逐渐增大。不同激光辐照能量下薄膜样片的损伤几率见表1。