《表2 不同过硫酸钠用量时蚀刻前后镀铜银纳米线薄膜的光电性能》

《表2 不同过硫酸钠用量时蚀刻前后镀铜银纳米线薄膜的光电性能》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《镀铜银纳米线导电薄膜铜层蚀刻液研究》


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镀铜银纳米线薄膜蚀刻后留下银纳米线透明导电薄膜,在实际生产中要求蚀刻前后的银纳米线薄膜的光电性能不变。镀Cu前银纳米线薄膜的平均方块电阻为42.1Ω,平均透过率为89.10%,雾度为1.26%。采用不含过硫酸钠的蚀刻液时,Cu层未被蚀刻掉且发生氧化,因此无法测得方块电阻、透过率和雾度。从表2可知,过硫酸钠用量为1 g时,蚀刻后银纳米线薄膜的方块电阻升至51.1Ω,方块电阻变化较大,可能是蚀刻时间过长对下层银纳米线薄膜造成破坏所致。过硫酸钠用量为2~5 g时,银纳米线薄膜的方块电阻变化不大,表明较短的蚀刻时间更适合镀铜银纳米线薄膜的蚀刻。镀铜银纳米线薄膜蚀刻前后的透过率几乎不变,雾度仅在过硫酸钠用量为4 g时略升,其余配方蚀刻后变化不大。