《表1 不同退火温度下Cu薄膜的方均根粗糙度》

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《真空退火对热蒸发纳米Cu薄膜性能的影响》

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用原子力显微镜获得纳米Cu薄膜的表面形貌信息，通过Nano Scope Analysis软件进行数据处理与分析，得到不同退火温度下Cu薄膜表面的方均根粗糙度Rrms，结果见表1。