《表1 不同Al含量的AZO薄膜的最优拟合参数》

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《掺铝氧化锌薄膜的制备与表征及其与铁电薄膜复合的性能研究》

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由所建立的不同铝掺杂浓度的Tauc-Lorentz模型参数以及拟合得到的相关参数如表1所示。D为薄膜厚度；χ2为拟合方差，方差越小，拟合优度越高；f为粗糙层厚度与薄膜整体厚度的占比，f越大，薄膜表面质量越差。表中所示的各最小的拟合方差都小于5，表明其拟合结果具有一定可靠性。从表中可以看出在一定范围内，随着掺杂浓度升高，AZO的禁带宽度值增加。说明载流子浓度升高，产生Burstein-Moss效应从而致使费米能级升高进入导带，低于费米能级的导带占据了电子，所以光学跃迁只发生在价带与费米能级上的导带，故所测得的带隙似乎是变宽。这也与透过率谱吸收边蓝移现象相一致。