《表2 DLC薄膜拉曼光谱拟合结果》

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《镍基涂层/碳基薄膜复合体系磨蚀行为》

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图2为DLC薄膜拉曼光谱。其结果均呈现出典型的不对称非晶峰谱，通过高斯拟合将其分解为1378cm-1附近的D峰和1580 cm-1附近的G峰。通常D峰对应于sp2杂化键的横向振动，ID/IG可用作估算sp3杂化键含量的参数，对于无氢DLC薄膜，比值越小，意味着sp3杂化键含量越高。G峰峰位向左移动意味着sp2杂化键的紊乱度增加，其相对含量降低。3种薄膜拉曼光谱的拟合结果如表2所示。可以看出，增加Ni60C涂层对于同种DLC薄膜的结构特征影响不大。