《表1 DLC薄膜的沉积工艺参数》

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《镍基涂层/碳基薄膜复合体系磨蚀行为》

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将316L不锈钢（Φ30 mm×5 mm）表面打磨平整并在丙酮中超声清洗以去除油污，随后对表面进行喷砂处理，至粗糙度Ra约为1.6μm，最后用无水乙醇超声清洗、吹干待用。利用氧-乙炔喷焊技术先在316L不锈钢试样表面喷涂一层厚约800μm的Ni60C涂层。用砂纸将其逐级打磨、抛光至Ra≤20 nm，分别用石油醚、丙酮和无水乙醇超声清洗15 min后吹干，将316L不锈钢试样和制备有Ni60C涂层的试样固定在Teer UDP-650闭合场非平衡磁控溅射系统样品架上。先在高偏压下用Ar+轰击清洗试样表面15 min，以除去氧化物及杂质，之后分别沉积a-C、a-C:H、a-C:Cr 3种薄膜，具体沉积参数如表1所示。