《表1 SUS304不锈钢管内壁3种DLC薄膜沉积工艺》
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《SUS304不锈钢管内壁类金刚石碳基薄膜的制备及其腐蚀、摩擦学性能》
表1为沉积DLC薄膜的工艺参数。
| 图表编号 | XD0010216700 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.11.15 |
| 作者 | 张铭炯、崔明君、王福、鲁志斌、张广安 |
| 绘制单位 | 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室、中国科学院大学、中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室、中国科学院大学、中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室、中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室、中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 |
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