《表3 厚DLC薄膜与SUS304不锈钢的Ecorr和Jcorr》

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《厚类金刚石碳基薄膜的制备及摩擦与腐蚀性能的表征》

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三种厚DLC薄膜与SUS304不锈钢在3.5%NaCl腐蚀溶液中测得的极化曲线如图9所示，对实验测得的极化曲线进行拟合得到的电化学参数见表3。由极化曲线可知，SUS304不锈钢出现了明显的阳极活化溶解区，厚DLC薄膜并未出现阳极活化溶解区。由拟合数据（表3）观察到，调制比为4∶1的（Six-DLC/Siy-DLC）2 0 p/DLC薄膜的腐蚀倾向性最低。相比SUS304不锈钢，三种厚DLC薄膜的腐蚀电位均发生正移，极化电阻明显升高，腐蚀电流密度大大降低，这表明厚DLC薄膜相比于不锈钢具有较低的腐蚀倾向性。这是由于DLC薄膜通过掺杂Si元素以增加电荷转移电阻和减小极化中的阳极电流，来改善膜的耐蚀性，同时多层结构形成的界面效应可以有效抑制腐蚀介质渗入，有力佐证了超厚膜可有效抑制腐蚀介质侵蚀基底，从而提高了基底的耐腐蚀性。从腐蚀形貌（图10）来看，厚DLC膜腐蚀前后表面无明显变化，SUS304不锈钢出现了大面积腐蚀凹坑，说明不锈钢的耐腐蚀性能较差。