《表2 厚DLC薄膜与SUS304不锈钢磨损率》

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《厚类金刚石碳基薄膜的制备及摩擦与腐蚀性能的表征》

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图7为三种厚DLC薄膜与SUS304不锈钢在5 N与20 N载荷条件下摩擦系数随滑动次数变化的关系曲线。由摩擦曲线观察到，在5 N载荷条件下，SUS304不锈钢的摩擦系数在摩擦初始阶段急速升高至0.5，随着滑动次数的增加，摩擦系数呈上升趋势，三种厚DLC薄膜的摩擦系数在长时间的摩擦条件下始终保持在0.05～0.2之间，摩擦系数较低且相对稳定，其中调制比为4∶1的薄膜的摩擦系数最低可达0.05。在20 N载荷条件下，SUS304不锈钢的摩擦系数达到0.7，而三种厚DLC薄膜的摩擦系数仍在0.05～0.2范围内变化，但与5 N载荷条件下的摩擦系数相比，其摩擦系数较高并出现明显波动。表2为两种载荷下摩擦实验所对应的磨损率，SUS304不锈钢的磨损过大，无法用轮廓仪测量，这是由于摩擦过程中产生严重的磨粒磨损，摩擦过程中无任何润滑介质形成与硬度过低是其磨损严重的关键原因；5 N载荷下，厚DLC薄膜的磨损率可低至9.4×10-17 mm3/（N·m），由计算所得磨损率结果可知，厚DLC薄膜在低载与高载的条件下均能保持相对较低的磨损率，故厚DLC薄膜具有良好的承载能力与抗磨损能力。由摩擦磨损实验可以发现，低载下调制比为4∶1的厚DLC薄膜具有最低的摩擦系数且磨损率最低，而在高载下调制比为1∶1的厚DLC薄膜具有最低的磨损率，这表明不同调制比的厚DLC薄膜可以适应不同条件下的摩擦磨损。