《表5 V-DLC薄膜磨损表面的元素含量 (1)》

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《钨与钒掺杂类金刚石薄膜的温度适应摩擦磨损机制研究》

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注:（1）在500℃条件下。

V-DLC薄膜磨损表面的元素含量见表5。从表5可知，在500℃条件下，V-DLC薄膜的磨损表面富含C元素、V元素和大量铁（Fe）元素和铬（Cr）元素，说明V-DLC薄膜的膜层在摩擦过程中已经破损，磨球与基体直接接触，发生显著的粘着磨损现象，磨痕中还发现大量氧（O）元素存在，说明在500℃高温条件下，V-DLC薄膜的磨痕表面发生了高温氧化现象，形成大量的铁氧化物以及少量钒氧化物。在高温条件下，由于V-DLC薄膜结构的改变，薄膜很快就被磨损而露出基体表面，在随后的滑动摩擦过程中，磨损表面生成含铁氧化物转移膜，可在一定程度上阻碍磨球与基体之间的直接接触而使得摩擦系数降低，由于磨损表面残留V元素，在高温条件下氧化形成钒氧化物熔化后形成液体润滑膜起到润滑作用，使摩擦系数降低[12]。