《表2 9310钢表面沉积WC–DLC涂层试验工艺参数》

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《离子注渗工艺参数对9310钢表面WC–DLC薄膜性能影响》

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在试样工件完成离子注渗后，进行WC–DLC涂层沉积过程，设备两个侧壁上分别垂直装有材料为Cr（99.95%）靶和WC （99.95%）矩形靶。由于Cr N涂层与9310钢基体结合性能较好，且其热膨胀系数、硬度等物理特性介于9310钢基体和WC–DLC涂层之间，因此引入Cr N涂层作过渡层，以提高涂层整体的结合力。为了进一步提高WC–DLC涂层和9310钢基体之间的结合力，实现金属和非金属之间的顺利过渡，沉积Cr N之前在Cr N与WC–DLC涂层之间加入Cr层[8]，即WC–DLC涂层与9310钢基体过渡层结构为Cr/Cr N涂层。薄膜制备试验工艺参数如表2所示。（1）制备Cr过渡层，通入氩气作为背景气体，气压控制0.6Pa；Cr靶连接直流磁控电源，电流设置为3A；工件连接直流偏压电源，电压设置为–100V。（2）制备Cr N过渡层，Cr靶连接直流磁控电源，电流调整为5 A；工件连接偏压电源，改变偏压为–75V；沉积Cr N过渡层保持Ar流量不变，通入N2。（3）沉积WC–DLC涂层，将WC靶接入直流磁控电源，电流保持在5 A；工件连接偏压电源，保持电压为–60V；控制氩气流量不变，通入30sccm流量的乙炔气体。