《表1 实验工艺参数：AH32钢表面制备复合涂层的疏水性能及耐蚀性能》

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《AH32钢表面制备复合涂层的疏水性能及耐蚀性能》

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试样进行渗氮处理时，先将预处理好的AH32船板钢试样放置于离子渗氮炉的工件架上，分别打开机械泵与分子泵，将离子渗氮炉炉腔抽真空至3 m Pa，同时将试样加热到400℃，向离子渗氮炉内通入140 mL/min（标况，下同）的氩气和10mL/min的氮气以除去未被抽出的空气。用-120V和-300 V脉冲偏压清洗试样表面15 min，除去试样表面的氧化膜。清洗完成后，关闭氩气，向炉内通入200 mL/min的氮气，调节脉冲偏压至-300 V，调节灯丝电流至10 A，进行2 h的离子渗氮。试样进行镀DLC处理时，先将试样放入PECVD设备的腔体内，分别打开机械泵与分子泵，将炉内抽真空至3 m Pa，同时给试样加热，向炉内通入100 mL/min的氩气20 min，除去未被抽出的空气。调节脉冲电压至-3 300 V，向炉内通入40 mL/min的四甲基硅烷40 min后，关闭四甲基硅烷气体，同时向炉内通入一定比例的氩气和乙炔气体，保持所有实验参数不变并沉积5 h，具体实验工艺参数见表1。