《表1 含氢DLC涂层和F-DLC涂层表面元素组成》

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《轮胎模具DLC涂层应用的可行性分析》

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2种涂层元素组成见表1。可见:含氢DLC中除了C、Fe含量较多，W元素含量也较多，原因是涂层制备前基体表面沉积了一层WC过渡层，W原子与C原子易结合生成热力学稳定的WC晶粒，使得W含量上升；F-DLC涂层中氟元素含量较高，主要是非金属性最强的氟元素掺入后，使涂层中的C-C键和C-H键优先转化成了热稳定性更好的C-F键。利用X射线荧光光谱仪进一步确定，含氢DLC涂层还含有极少数的Mn、Cu等元素，F-DLC涂层中含有极少数的Cr、Mn等元素。