《表1 不同偏压下所得涂层表面元素的质量分数》

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《TiCN涂层的制备及其微观结构和性能》

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由图3可知，XRF谱图上出现Ti、C和N元素的峰，分别出现在86.14°、32.46°和32.93°。从表1可知，C、N两元素的质量比接近1∶2。随着偏压增加，涂层中Ti、C元素含量逐渐增大，N元素含量逐渐减小。这主要是由于在偏压作用下，在直流作用下溅射出来的原子更多地飞向基体，并且以较高的能量在基体上扩散迁移。