《表1 不同偏压下AlCrSiN涂层的元素组成》

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《基体偏压对AlCrSiN涂层结构及力学性能的影响》

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不同偏压下AlCrSiN涂层的元素组成由EDS表征，其结果如表1所示。由表1可见，R（Al）/R（Cr）为Al与Cr原子分数的比值，其值与AlCrN系涂层的晶体结构及力学性能密切相关，其中靶材的R（Al）/R（Cr）为1.25，不同偏压下的涂层R（Al）/R（Cr）为0.9左右，均小于靶材，这种涂层的合金成分相对于靶材发生变化的现象被称为离析[17]。AlCrSiN涂层中Al元素呈现负离析，Cr元素呈现正离析。张钧等[18]对离析现象给出了解释:离析现象主要与靶材组元在等离子体中的平均价态有关，一般熔点越高的元素其平均价态越高，因此在基体负偏压的影响下，熔点较高的组元通常呈现正离析，而熔点较低的组元呈现负离析。Al的熔点远低于Cr，因此涂层中Al含量相对靶材降低，Cr含量相对升高。