《表2 CrAlN涂层化学成分(质量分数,%)与偏压参数的关系》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《车用316L不锈钢表面脉冲磁控溅射CrAlN涂层组织和摩擦性能分析》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

图2显示了CrAlN涂层XRD图谱与偏压参数的关系。可以发现，当基体偏压提高后，涂层的（111）晶面衍射峰发生了小角度偏移的变化。这是因为Al具有比Cr更大的原子半径，当CrN晶格内溶入一部分Al原子后将会导致晶格发生畸变的现象，由此导致衍射峰往小角度发生偏移的结果。