《表1 脉冲磁控溅射工作参数》

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《车用316L不锈钢表面脉冲磁控溅射CrAlN涂层组织和摩擦性能分析》

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本试验选择HiPIMS6磁控溅射设备，对经过抛光处理的316L不锈钢基体进行沉积得到CrAlN涂层。其中，HiPIMS电源与Cr靶相连，Pulsed DC电源与Al靶相连，并将两者安装在炉腔中的相对位置，设定靶基间距都等于60mm，图1给出了脉冲磁控溅射系统示意图。将各基片依次采用脱脂剂、去离子水、乙醇进行超声清洗0.5h，之后对其进行烘干装炉。先将压力抽真空至<1.5×10-3Pa，之后对样品进行升温到320℃，在上述各处理环节中一直保持氩气通入量为220m L/min，同时调节节流阀使工作压力处于1.4Pa左右，再设定偏压为-600V，持续进行12 min的辉光清洗。接着启动Cr靶，同时控制偏压处于稳定的-600V，继续对试样进行表面轰击10min。控制氩气流量等于150 mL/min，控制节流阀开度使工作压力约为0.65Pa，再经过12min沉积得到厚约250 nm的Cr过渡层。接着调整氩气流量到100 mL/min，再控制氮气流量为50 mL/min，启动A靶，依次以0、-25、-50、-100V的不同偏压条件沉积得到CrAlN涂层，所有试样的沉积时间都控制在3 h。图1为脉冲磁控溅射系统示意图。表1为脉冲磁控溅射工作参数。