《表7 Cr/CrN/CrAlN涂层不同划痕数量阻抗谱拟合电路参数》

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《磁控溅射制备的Cr/CrN和Cr/CrN/CrAlN涂层耐腐蚀性能对比研究》

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利用Cr/CrN/CrAlN的阻抗谱如图10所示。结合阻抗谱等效电路模型，模拟得到不同划痕数试样的拟合电路参数，如表7所示。从表7中可以看出，无划痕的Cr/CrN/CrAlN涂层中，Rct和Rpo都非常高，表明涂层作为溶液和基材之间的阻挡层，具有高耐受性并隔离腐蚀性介质与基材的接触。随着预制划痕数量的增加，转移电荷电阻Rct随之迅速下降，相比于无划痕试样（Origin），涂层表面1条划痕的涂层（5 mm＿1）仍然保持较高的Rct，3条划痕的涂层（5 mm＿3）电荷转移电阻下降为无损伤试样的20%，5条划痕的涂层（5 mm＿5）下降为11%，耐腐蚀性大幅下降。腐蚀性介质可以通过划痕渗透到涂层中。预制划痕涂层的Rpo急剧下降，趋势与转移电荷电阻Rct相近，5 mm＿5试样的Rct仅为无损伤涂层的7.5%，腐蚀性介质的渗透促进了涂层腐蚀，因此导致涂层在划痕处的溶解速率增加[18]。Rct和Rpo都是腐蚀过程中的主要阻力，无损伤试样的Rp为868.7 kΩ·cm2，5 mm＿1试样的Rp为792.0 kΩ·cm2，5 mm＿3试样的Rp为166.1 kΩ·cm2，5 mm＿5试样的Rp为77.2 kΩ·cm2。Rp大幅下降表明涂层耐腐蚀性的衰减。